[发明专利]一种柱状内置式低温泵有效
| 申请号： | 201911167018.X | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110985339B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 邓立;陈长安;黄国强;高博;殷雪峰;姚勇;王劲川;胡俊;刘林子;陈俊光;陈克琳;陈军;罗军洪 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/06 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 王育信 |
| 地址： | 610200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柱状内置式低温泵，包括接头板、泵壳、环形80K外障板、液氦管道以及若干4.6K低温障板和80K内障板；接头板设置在泵壳上，其上设有进气口、液氦进口、液氦出口；环形80K外障板设置在泵壳内；环形80K外障板中设置有支架，所有的80K内障板并排均布于支架的两侧，并且每片80K内障板均为人字形结构；80K内障板与环形80K外障板之间设有环形连接板，4.6K低温障板的形状为凹字型，并且内壁上涂覆有活性炭；所有的4.6K低温障板两两镜像组成一组，并均布在环形连接板上；所述液氦管道依次穿过相邻4.6K低温障板的间隙，该液氦管道一端连接液氦进口，另一端连接液氦出口。本发明很好地实现了对待处理气体中易气体的冷凝和难冷凝点的气体(氢气、氦气)吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柱状 内置 低温泵 | ||
【主权项】：
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