[发明专利]一种电子显微镜观测样品及其制备方法有效
| 申请号： | 201911168872.8 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110954568B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 魏磊 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/2202;G01N1/28;G01N23/04;G01N23/20;G01N23/203;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 刘恋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种电子显微镜观测样品及其制备方法，所述方法包括：提供包括目标样品层的试样；在所述试样上分割出一制样区域，暴露所述制样区域内目标样品层的侧壁；形成一支撑框架，所述支撑框架至少包覆所述目标样品层的所述侧壁；对形成所述支撑框架后的所述制样区域内的试样进行减薄，获得位于所述目标样品层内预设厚度的目标样品；其中，所述支撑框架的材料硬度大于所述目标样品层的材料硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 观测 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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