[发明专利]单晶硅小片电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅小片电池的制备方法，包括如下步骤：1）将单晶硅圆棒切成可制备电池整片的长方体状硅块；该硅块包括：一对相背设置的端面，以及位于该对端面之间的四个侧面；2）沿垂直于硅块一对端面且平行于硅块四个侧面中一个侧面的方向，将长方体状硅块切割出用于制备小片电池的长方体状小硅块；该小硅块包括一对相背设置的端面；3）沿平行于小硅块端面的方向，对小硅块进行切片，切割出小片硅片；4）将小片硅片制备成小片电池。小片硅片制备过程中存在的损伤层都能在制绒和背面刻蚀步骤中去除；而且后续的热氧化、叠层钝化膜沉积、SiNx薄膜沉积等步骤能够提供介质钝化和H钝化，大幅降低小片电池横断面的少子复合。