[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、像素电路及显示面板有效
| 申请号： | 201911175613.8 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110854204B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 黄鹏;高涛;詹裕程 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34;H10K59/121 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 王茹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、像素电路及显示面板。所述薄膜晶体管包括衬底、有源层、栅电极、源电极与漏电极。所述有源层形成于所述衬底上，所述有源层包括第一氧化物半导体层及位于所述第一氧化物半导体层侧部的第二氧化物半导体层，所述第二氧化物半导体层与所述第一氧化物半导体层接触，所述第二氧化物半导体层用于向所述第一氧化物半导体层提供氧，使第一氧化物半导体层的氧含量提高。所述栅电极、所述源电极与所述漏电极形成于所述衬底上，所述栅电极与所述有源层互相绝缘，所述源电极及所述漏电极分别与所述有源层电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 像素 电路 显示 面板 | ||
【主权项】：
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