[发明专利]针对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物的成份鉴定方法在审

专利信息
申请号: 201911176455.8 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN112946001A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 李义民;刘万发;徐东东;谭彦楠;何书通;徐志 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: G01N23/2273 分类号: G01N23/2273;G01N23/2202
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 毛薇;李馨
地址: 116000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种针对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物的成份鉴定方法,包括:收集固液激光器中冷却液中固体颗粒,对其进行干燥操作后制成待测样品薄片;利用光电子能谱仪对所述样品薄片进行光电子能谱测试,获得样品所含特定元素特征电子能级结合能信息;提取特定元素特征峰位结合能信息,进行固态颗粒污染物组成成份的分析鉴定。本发明利用X射线光电子能谱对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物成份进行检测与鉴定,操作过程简单,利于在相关研究中广泛推广。
搜索关键词: 针对 激光器 冷却液 固态 颗粒 污染物 成份 鉴定 方法
【主权项】:
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