[发明专利]显影装置及其显影方法在审
| 申请号： | 201911179254.3 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112859548A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张强;应战 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄丽 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种显影装置及其显影方法，所述显影装置包括晶圆载台、喷涂模块和第一旋转电机，所述晶圆载台用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；所述喷涂模块包括液体涂布单元和气体吹扫单元；所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。通过改变所述第一旋转电机的转动方向，可以使所述晶圆载台和气体吹扫单元相对反向转动，从而实现比一个旋转电机更快的相对旋转角速度，对晶圆表面进行更快的吹扫，避免了晶圆表面部分区域由于吹扫速度过慢，液体挥发导致的水渍缺陷或固体残留的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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