[发明专利]原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201911180341.0 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110777355B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 张博;韩银龙;郭新涛;孙文波;姜浩;史浩飞;李朝龙 | 申请(专利权)人: | 中国航空制造技术研究院 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/44;C23C16/56;C23F1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100024 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法,其制备方法包括以下步骤:生长石墨烯层、贴合衬底及复合膜成型;包括成型为网格状的金属箔片和该金属箔片表面的若干层石墨烯层;其中,所述石墨烯层采用化学气相沉积法生长在所述金属箔片表面。有益效果在于:消除了现有的复合功能薄膜中石墨烯与金属网格间界面结合性能差的缺陷,不仅提高了石墨烯层与金属网格贴合的牢固性,而且电接触优良,提升了综合性能表现;此外,由于刻蚀工艺成熟,刻蚀过程中不会对石墨烯层的连续性进行破坏,成品率高;最后,通过原位复合技术,简化了制备流程,提高了金属网格石墨烯复合薄膜的制备效率。 | ||
搜索关键词: | 原位 复合 金属 网格 石墨 功能 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n步骤S110、生长石墨烯层,采用化学气相沉积法在金属箔片表面沉积石墨烯,形成覆盖金属箔片表面的石墨烯层;/n步骤S120、贴合衬底,将步骤S110中金属箔片生长有石墨烯层一面贴合在柔性衬底上;/n步骤S130、复合膜成型,在金属箔片背向所述柔性衬底一面制备金属网格,即可得到金属网格石墨烯复合膜。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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