[发明专利]晶圆检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201911180562.8 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110954007B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张卫涛;丁小叶;张伟;屠礼明;周毅 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆检测系统及检测方法，通过晶圆检测系统中的具有至少两个光源的晶圆检测设备，以提供不同波长的光束，获得针对相同的晶圆表面且与每个光源相对应的干涉图像，并通过对干涉图像的数据分析，以对晶圆表面进行检测；进一步的，晶圆检测系统通过两个晶圆检测设备，还可实现同时分别对晶圆的正面及背面进行检测，以提高晶圆检测系统的工作效率。本发明通过具有不同波长的至少两个光源，可对相同的晶圆表面进行检测，获得互补的干涉图像，从而可提高对晶圆表面检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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