[发明专利]一种基片加热系统

摘要

本发明公开了一种基片加热系统，包括基片承载舟和快速加热装置，所述基片承载舟由多个舟片并排布置，相邻两个舟片之间具有舟片间隙，所述舟片用于装载基片，所述快速加热装置包括多列铠装电加热丝，每列铠装电加热丝对应一个舟片间隙，各列铠装电加热丝插入对应的舟片间隙内。本发明首次提出通过设置与基片承载舟的舟片间隙匹配的快速加热装置，直接在基片承载舟内部快速加热，大幅提升了基片承载舟和基片的升温速率，既保证了基片承载舟整体受热均匀性，又减少了工艺过程中的升温时间，进而缩短单次工艺时间，有效提升了单台设备的产能和整舟的基片薄膜颜色外观及膜厚的一致性。