[发明专利]一种线型蒸发源在审
| 申请号： | 201911183785.X | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112853271A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李明振;褚蓉蓉 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 江宁 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开了一种线型蒸发源，该线型蒸发源包括：蒸镀坩埚，蒸镀坩埚包括呈线型的坩埚本体及位于坩埚本体上的多个喷嘴，坩埚本体包括中间区域及沿坩埚本体的延伸方向位于中间区域两侧的端部区域，多个喷嘴沿坩埚本体的延伸方向呈线型排列，多个喷嘴包括位于中间区域的中间喷嘴及位于端部区域的端部喷嘴；加热部，加热部包括第一加热器及第二加热器，第一加热器位于坩埚本体远离喷嘴一侧的周围，第二加热器包括加热器本体及放热板组件，加热器本体位于坩埚本体临近喷嘴一侧以及多个喷嘴周围，放热板组件设置于加热器本体朝向坩埚本体的表面与坩埚本体的两个端部区域对应的区域。该线型蒸发源能够解决蒸镀薄膜厚度不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线型 蒸发 | ||
【主权项】：
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