[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板有效
| 申请号： | 201911186664.0 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110993697B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡振飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 黄灵飞 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板。该薄膜晶体管包括：栅电极；绝缘层，位于衬底基板上且覆盖栅电极；有源层，位于绝缘层上且对应栅电极；源电极和漏电极，同层间隔设置于绝缘层上，以及分别设置于所述绝缘层的两侧；晶化诱导金属层，位于有源层上，所述晶化诱导金属层位于源电极和漏电极之间，并与源电极和漏电极间隔设置。基于此，本申请能够提高薄膜晶体管的电子迁移率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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