[发明专利]通孔层版图生成方法以及装置在审
| 申请号： | 201911187142.2 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111027272A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 郭成;韦亚一;粟雅娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通孔层版图生成方法以及装置，所述通孔层版图生成方法包括：接收原始的通孔层版图，所述原始的通孔层版图包括两个以上原始通孔；根据预先设置的可行引导图形，在所述原始的通孔层版图上确定每个原始通孔对应的额外通孔的待选位置，其中，所述可行引导图形为通孔组合对应的图形；根据所述可行引导图形的制造成本，在所述待选位置中选择所述额外通孔的最终位置；在所述最终位置插入所述额外通孔；将插入所述额外通孔后的通孔层版图上的所有通孔拆分到两个以上掩膜版上，获得最终的通孔层版图。本发明提供的通孔层版图生成方法以及装置，在进行额外通孔的插入时，将制造成本考虑进来，可以减小图形的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔层 版图 生成 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
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