[发明专利]一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法有效

专利信息
申请号: 201911190250.5 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN110867533B 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 屠国力;刘相富;马金明;王荣文 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;C08J5/18;C08L79/08
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 彭翠;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明属于新应用技术领域,更具体地,涉及一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法。本发明提供的一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法,其通过在基板与聚酰亚胺薄膜之间设置多层石墨烯薄膜,得到基板/多层石墨烯薄膜/聚酰亚胺薄膜叠层,以石墨烯薄膜为牺牲层,借由多层石墨烯薄膜层与层之间弱的范德华力,通过外力破坏石墨烯薄膜层与层之间的范德华力,将聚酰亚胺薄膜从基板上剥离。多层石墨烯层与层之间是有范德华力连接,与石墨一样可以滑动,利用此性质,可以有效地削弱高温后聚酰亚胺薄膜与玻璃基板之间的粘附作用。本发明提供的剥离方法简单,剥离效果稳定,且不影响聚酰亚胺薄膜性质。
搜索关键词: 一种 基于 多层 石墨 牺牲 聚酰亚胺 薄膜 剥离 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学,未经华中科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911190250.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top