[发明专利]掩膜版的张网设备和张网方法在审
| 申请号： | 201911195364.9 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110699638A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 李露露;王亚;卓林海 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11659 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版的张网设备和张网方法。该张网设备包括移动机构和框架夹具；移动机构包括移动单元和支撑单元，移动单元与支撑单元连接，框架夹具固定于移动单元上，框架夹具用于夹持掩膜版框架上相对设置的夹持区域，移动机构用于驱动框架夹具产生作用于掩膜版框架上的推力，以使掩膜版框架产生预设形变；推力的方向沿第一方向朝向掩膜版框架的中心；其中，第一方向为固定于掩膜版框架上的掩膜条的长度方向。因此不会在张网结束后产生形变，从而保证了掩膜版的张网精度，进而提高了掩膜版的精度。同时简化了张网设备的复杂度，避免了气浮气压无法使掩膜版框架悬浮时，掩膜版框架与平台之间的摩擦力导致的张网精度降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 张网 框架夹具 移动单元 移动机构 支撑单元 形变 夹具 夹持区域 精度降低 驱动框架 相对设置 复杂度 掩膜条 夹持 气浮 气压 预设 悬浮 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版的张网设备，其特征在于，包括移动机构和框架夹具；/n所述移动机构包括移动单元和支撑单元，所述移动单元与所述支撑单元连接，所述框架夹具固定于所述移动单元上，所述框架夹具用于夹持掩膜版框架上相对设置的夹持区域，所述移动机构用于驱动所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力，以使所述掩膜版框架产生预设形变；所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心；其中，所述第一方向为固定于所述掩膜版框架上的掩膜条的长度方向。/n
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