[发明专利]半导体设备的远程群组控制系统在审
| 申请号： | 201911198868.6 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110933169A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 黄扬君;周法福 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H04L29/08 | 分类号： | H04L29/08;H04L29/06;H04L12/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备的远程群组控制系统，该群组控制系统包括：服务器、至少一个客户端，其中，客户端通过第一预设协议与服务器通信连接，服务器通过第二预设协议与至少一个半导体设备群组通信连接，半导体设备群组中包括至少一个半导体设备；服务器用于获取半导体设备群组中各个半导体设备的运行状态参数，并将运行状态参数发送给客户端；客户端用于显示运行状态参数。上述远程群组控制系统可独立地基于半导体设备群组的架构实现对半导体设备的监控和管理功能，提升了半导体制造厂的生产效率，提高了半导体制造厂的生产线平衡和及时交付能力，降低了半导体制造厂的生产费用。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 远程 控制系统 | ||
【主权项】：
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