[发明专利]一种可主动控温的VCSEL激光器TO封装结构

摘要

本发明公开一种可主动控温的VCSEL激光器TO封装结构，应用于空间光学测量类单机的激光器封装、散热或加热。通过VCSEL激光器、热沉、热电制冷器、TO封装底座，构成热回路；热沉上方还固定有测温元件。罩体粘贴固定在TO封装底座上，匀光片固定粘接至罩体的表面开窗处。本发明通过热电制冷器和测温元件，实现VCSEL激光器的主动温控；通过热沉上布置的器件和TO封装管脚之间绑定金线连接，实现了VCSEL激光器的小型化TO封装；通过罩体和匀光片的设计，实现了VCSEL激光器的波段扩展；本发明可以实现VCSEL激光器的高可靠安装，保证散热通路上各界面良好接触，具有较高的制冷或加热效率，满足不同温度环境使用要求。