[发明专利]接头组件与浸泡系统有效
申请号: | 201911202385.9 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN112871920B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 徐宏信;邱彦岚 | 申请(专利权)人: | 亚泰半导体设备股份有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093;B08B9/08;B08B13/00 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种接头组件与浸泡系统,接头组件包括基座组件、浸泡流体阀件与填充流体阀件。当接头组件用于待浸泡的容器时,填充流体可通过填充流体阀件流入并填充于位于容器的内部空间的填充件,通过填充件占据部分的容器的内部空间,以使填充于容器的浸泡流体可达到减量的效果,其中浸泡流体是通过浸泡流体阀件流入容器并填充于容器与填充件之间的空隙。 | ||
搜索关键词: | 接头 组件 浸泡 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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