[发明专利]吹扫管、单晶提拉装置及硅单晶的制造方法有效
| 申请号： | 201911202817.6 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111501088B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 早川裕 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;金飞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种吹扫管。吹扫管（5）具备：圆筒部（51），形成为圆筒状，将从腔室（21）的外部导入的非活性气体向硅熔液（M）侧导引；以及凸缘部（52），从圆筒部（51）的外周面朝向外侧以凸缘状突出；在凸缘部（52）的至少一部分，设置有能够由设置在腔室（21）的外部的光学观察机构（3）进行硅单结晶（SM）的培养状况的观察的透过部（522）。 | ||
| 搜索关键词： | 吹扫管 单晶提拉 装置 硅单晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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