[发明专利]对准标记系统有效
| 申请号： | 201911205271.X | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111354714B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 梁时元;刘智龙;权炳仁 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F1/42 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对准标记系统，其包括：第一组对准标记，其具有被分成群组的多个段，所述组彼此对称；与所述第一组对准标记正交的第二组对准标记，所述第二组对准标记具有被分成群组的多个段，各组彼此对称；和一与所述第一组对准标记和所述第二组对准标记对角设置的第三组对准标记，所述第三组对准标记具有被分成群组的多个段，并且所述群组正交于其各自的相邻组。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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