[发明专利]二氧化钛纳米管基吸气剂薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201911205339.4 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110863228B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李晓刚;高峰;聂鹏;邓志雄;马华 | 申请（专利权）人： | 中山凯旋真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26;C23C14/14;C23C28/00;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 司丽琦;于宝庆 |
| 地址： | 528478 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供一种二氧化钛纳米管基吸气剂薄膜及其制备方法，其中该二氧化钛纳米管基吸气剂薄膜的制备方法包括：提供一基底，基底表面为钛层；阳极氧化处理基底，以使钛层表面生长二氧化钛纳米管阵列层；于二氧化钛纳米管阵列层上物理气相沉积吸气剂合金层，得到二氧化钛纳米管基吸气剂薄膜。该方法通过在基底表面沉积吸气剂合金层之前先生长二氧化钛纳米管阵列层，以构建出高比表面积的微结构，使所得二氧化钛纳米管基吸气剂薄膜的吸气容量、吸气速率大大改善，并具有维持真空度高且持久等特点。该制备方法工艺简单、可操作性强，具有良好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 吸气 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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