[发明专利]压电传感器及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 201911206016.7 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN112885957A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 张锋;刘文渠;卢鑫泓;崔钊;吕志军;董立文;宋晓欣;王利波;孟德天 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/113;H01L41/29 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 佘新育 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的实施例提供一种压电传感器及其制备方法、显示装置,涉及传感器技术领域,能够提高压电传感器的测量精度。其中的压电传感器,包括设置在衬底上的多个压电单元,每个所述压电单元包括层叠设置的第一电极、压电图案以及第二电极;所述压电图案的材料为压电材料。 | ||
搜索关键词: | 压电 传感器 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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