[发明专利]压电传感器及其制备方法、显示装置在审

专利信息
申请号: 201911206016.7 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN112885957A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 张锋;刘文渠;卢鑫泓;崔钊;吕志军;董立文;宋晓欣;王利波;孟德天 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L41/08 分类号: H01L41/08;H01L41/113;H01L41/29
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 佘新育
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明的实施例提供一种压电传感器及其制备方法、显示装置,涉及传感器技术领域,能够提高压电传感器的测量精度。其中的压电传感器,包括设置在衬底上的多个压电单元,每个所述压电单元包括层叠设置的第一电极、压电图案以及第二电极;所述压电图案的材料为压电材料。
搜索关键词: 压电 传感器 及其 制备 方法 显示装置
【主权项】:
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