[发明专利]微影设备在审
| 申请号： | 201911206497.1 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111258185A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈冠宏;简上傑;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微影设备包括极紫外(extreme ultraviolet；EUV)扫描器、耦合到EUV扫描器的EUV辐射源、石英晶体微量天平及回馈控制器。石英晶体微量天平设置在EUV辐射源及EUV扫描器中至少一者的内表面上。回馈控制器耦合到石英晶体微量天平及一或多个辐射源、液滴产生器及控制与EUV辐射源相关联的辐射源轨迹的光导元件中的一或更多者。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
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