[发明专利]一种低杂质的铸造多晶和铸锭单晶用免喷坩埚及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911207980.1 申请日: 2019-11-30
公开(公告)号: CN110803943B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 张学日;钟德京;陶能松;习小青;黄蓉帅 申请(专利权)人: 中材江苏太阳能新材料有限公司
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 连云港润知专利代理事务所 32255 代理人: 王彦明
地址: 222000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种低杂质的铸造多晶和铸锭单晶用免喷坩埚及其制备方法,在基体内表面对应液线以上区域涂覆有氮化硅涂层Ⅰ,对应硅液线以下区域及坩埚底部涂覆有氮化硅涂层Ⅱ。氮化硅涂层Ⅰ为四层结构,其基底层为硬质强化氮化硅涂层,中间为缓冲层,表面为硬质保护层。缓冲层的存在,使得硅液线区域可以更好的抵御坩埚的收缩。表面光滑硬质层可提供抵御硅液冲刷的能力,保证隔绝强度,中间缓冲层可减少坩埚收缩对表面硬质涂层的影响、最大限度减少表面涂层开裂情况,底部基体层提供了良好的涂层附着力。本发明侧重氮化硅涂层硬质技术,以此实现更少的粉底材料、减少硅锭杂质含量及减少硅锭位错等缺陷,大幅度改善硅锭脱模效果,减少硅锭粘埚现象。
搜索关键词: 一种 杂质 铸造 多晶 铸锭 单晶用免喷 坩埚 及其 制备 方法
【主权项】:
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