[发明专利]一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201911208306.5 | 申请日： | 2019-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN111041444B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 郭绕龙;张玲玲;孙晓军;王文超;姚远;徐家强;李常业;董吉伟 | 申请（专利权）人： | 河南航天精工制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 胡晓东;尹明璐 |
| 地址： | 464000 河南省信*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备，包括工件挂架和挂架安装座；工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接以供工件挂架取出和放入炉腔，本发明提供的真空镀膜夹具，在镀膜作业时，可在炉门外将工件安装到工件挂装结构上，然后再将工件挂架整体安装于炉腔内的挂架安装座上，在镀膜完成后将工件挂架整体拆下，换另一批工件挂架，从而能够实现不同批次工件的交替式生产，提高了真空镀膜的作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 夹具 设备 | ||
【主权项】：
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