[发明专利]用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法

摘要

一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法，光电探测器包括：光电转换模块，用于将光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号；同步模数转换模块，用于分别将光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号；工件台同步模块，用于将一光刻机工件台的位置脉冲信号发送至主控模块；以及主控模块，用于接收工件台同步模块的位置脉冲信号，并根据位置脉冲信号驱动光电转换模块和同步模数转换模块，以及同步接收并处理同步模数转换模块的多路数字电信号。本发明在当光刻机工件台运动至指定位置时，能使所有采集通道同时接收控制指令，同步采集所有通道的光强值，解决了现有分时采集方式的时延误差问题。