[发明专利]反射式光学系统及其装调测试方法有效
| 申请号： | 201911212108.6 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110941075B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 王丹;徐天伟;宗明成;马向红;谢冬冬;齐月静;马敬;孟璐璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B7/198 | 分类号： | G02B7/198;G02B17/06;G01M11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种反射式光学系统及其装调测试方法，该反射式光学系统包括镜筒，其中，镜筒顶部设有主镜；镜筒底部设有次镜，次镜上设有进光孔和出光孔；镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔；镜筒上设有法兰面，作为三坐标测量的基准面。本发明提出的一体化装配结合三坐标测量的装调方法，测量更加直接，能够提高系统装配精度以及系统可靠性、稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 光学系统 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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