[发明专利]环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器有效
| 申请号： | 201911212383.8 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110987281B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 林琳;李超波;郑旭;张心强;郜晨希;王迪;刘瑞琪;靳毅;陈林;远雁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器，所述环形支撑结构包括：壳体；环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口。本发明能够在降低加工误差积累的前提下减少零配件数量和零配件接触面积，防止温漂等原因造成的零配件之间的机械迟滞，从而提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 环形 支撑 结构 应用 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
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