[发明专利]用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机有效
| 申请号： | 201911212715.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110908249B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 徐天伟;王丹;马向红;齐威;陈进新;齐月静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质的中心对准，实现分段的光纤束之间的光的传输。本发明设计两段光纤束来解决整根光纤束不利于装配、维护以及存在断纤的风险的问题；通过光纤连接器以及光纤连接器上设置的通光介质实现两段光纤束的导通，连接方式可靠，并且应用于EUV光刻机中，解决了真空腔内外光传输的问题，提高了光纤束与光刻机的连接可靠性，降低了维修风险。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 euv 真空 环境 中的 传输 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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