[发明专利]一种腔长可调型MEMS法布里珀罗腔有效
| 申请号： | 201911213113.9 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110850587B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;蒋康力;赵明辉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B1/11;C23C16/56;C23C16/50;C23C16/40;C23C16/34;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种腔长可调型MEMS法布里珀罗腔，包括固定镜面，固定镜面上方和腔体下端连接，腔体上端和可动镜面下方连接，形成三层结构，采用MEMS体硅工艺加工；可动镜面包括可动结构，可动结构上方设有上层增透膜和上层电极，可动结构下方设有上层增反膜；固定镜面包括固定结构，固定结构下方设有下层增透膜，固定结构上方设有下层增反膜和下层电极；可动结构采用MEMS体硅工艺加工，可动结构包括基座，基座通过梁式弹簧和横向稳定质量块外侧连接，横向稳定质量块内侧通过梁式弹簧和中心质量块连接，横向稳定质量块为分体式块状结构，由四个L型分质量块呈中心对称分布构成；本发明具有光学精细度高、腔长调节精度高、加工难度小、成品率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 mems 法布里珀罗腔 | ||
【主权项】：
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