[发明专利]一种金刚石生长的在线监控方法及金刚石合成设备在审
| 申请号： | 201911214976.8 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110917998A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 彭国令;黄翀 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/06 | 分类号： | B01J3/06;G01N21/65 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 李大为 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石生长的在线监控方法及金刚石合成设备，一种金刚石生长的在线监控方法，包括以下步骤：S1：启动MPCVD设备合成金刚石；S2：监测装置对生长中的金刚石进行监测数据采集；S3：监测装置将步骤S2中采集到的监测数据发送给控制中心；S4：控制中心将获得的监测数据与预设数据范围对比；若监测数据在预设数据范围之内，MPCVD设备继续工作，金刚石继续生长；若监测数据不在预设数据范围之内，MPCVD设备停止通入碳源，并调整MPCVD设备的工艺参数，进行刻蚀，然后重新通入碳源；S5：重复步骤S2至S4，直至金刚石生长完成。能够对金刚石的生长实时监控。本发明应用于金刚石合成技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 在线 监控 方法 合成 设备 | ||
【主权项】：
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