[发明专利]防水气压传感器及其制作方法有效
申请号: | 201911215159.4 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN111024303B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 巩向辉;付博;方华斌 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06;G01L19/14 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 袁文婷;王迎 |
地址: | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种防水气压传感器及其制作方法,防水气压传感器包括壳体和基板,壳体固定在基板上方并与基板形成收容空间,在收容空间内的基板上方设有芯片,弹性防水胶填充在芯片上端面以上的收容空间,硬胶填充在弹性防水胶以外的收容空间。本发明中弹性防水胶的填充体积和胶厚大大减小,改善了只采用弹性防水胶填充内部残余气泡量多的缺点,使防水气压传感器性能稳定。 | ||
搜索关键词: | 防水 气压 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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