[发明专利]一种检测装置在审
申请号: | 201911216452.2 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN112985620A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 李吉光;李晓坤;徐一舟 | 申请(专利权)人: | 杭州福照光电有限公司 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20;H01L31/0216 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种检测装置,该检测装置的感应元件是硅基集成电路工艺制造的芯片器件,依次包括衬底底层,隔绝层,导电层,纳米材料层,钝化层,导出电极等,其中纳米材料层增强光吸收并释放热量以提高灵敏度。感应器件的导电层连接出两个电极,电极连接至读出电路等信号处理电路。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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