[发明专利]类石墨含氢碳膜、制备方法及光学薄膜

摘要

本发明主要目的在于提供一种类石墨含氢碳膜、制备方法及光学薄膜。所述方法包括以下步骤：将清洁的基体置于输出极板上，在输出极板施加<100V的负偏压；真空气氛下，通入碳氢气体进行等离子体增强化学气相沉积；所述碳氢气体为甲烷和/或氢气；所述沉积的温度≤100℃。所要解决的技术问题是制备一种具有低应力(<0.3GPa)的类石墨含氢碳膜；将其沉积在锗、硅、蓝宝石硫化锌、硒化锌、硫系玻璃表面起到物理、化学防护、防潮和红外增透的作用；将其沉积在聚四氟乙烯薄膜等不耐高温、温度膨胀系数较大的柔性基体表面，膜基结合性良好，可以随基体任意弯曲，起到物理、化学防护和摩擦润滑的作用；从而更加适合使用。