[发明专利]一种PECVD石墨舟载具的制造方法在审
| 申请号： | 201911220599.9 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110760822A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 邱家梁;黄惜惜;周肃;贾佳;黄国平;李菁楠;曹华斌;张会学;姜利凯;杨忠绪 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 汤磊 |
| 地址： | 212132 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PECVD石墨舟载具的制造方法，将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上，放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应，浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层，得到石墨舟成品零件再组装成石墨舟。添加硅粉的聚碳硅烷浸渍浆料在石墨舟半成品零件的碳材料表面高温裂解，通过硅‑碳相互作用在碳材料表面原位生长形成一层碳化硅膜层，在疏松多孔的碳材料表面形成一层致密稳定的保护层，耐高温、氧化、冷热冲击，在石墨舟生产过程中能提高其使用寿命，减少石墨舟维护时间以及成本，降低企业生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 浸渍浆料 碳材料 半成品 碳化硅膜层 表面原位生长 致密 表面高温 表面形成 成品零件 高温裂解 聚碳硅烷 均匀涂覆 冷热冲击 企业生产 生产过程 使用寿命 疏松多孔 保护层 反应炉 耐高温 放入 硅粉 裂解 载具 组装 制造 维护 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于包括以下步骤：/n步骤1，配制浸渍浆料：所述浸渍浆料包含按重量份(35～54)∶(45～60)∶(0.1～5)配比的聚碳硅烷、二甲苯、硅粉，各组分混合后球磨；/n步骤2，涂覆：将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上，得到中间品；/n步骤3，高温裂解：将中间品放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应，浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层，得到石墨舟成品零件；/n步骤4，将石墨舟成品零件组装成石墨舟。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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