[发明专利]一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置

摘要

本发明公开了一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，包括可绕一扭转轴扭转的镜面，还包括偶数组梳齿驱动器，其中一半梳齿驱动器与另一半梳齿驱动器的位置关于镜面扭转轴对称，分别位于轴的两侧，所有梳齿驱动器均由固定梳齿和可动梳齿组成，其中可动梳齿与镜面直接相连或通过梁、杆等与镜面相连，所有梳齿驱动器中位于镜面扭转轴同一侧的一半为垂直梳齿驱动器，另一半为常规梳齿驱动器，扫描镜工作时所有的固定梳齿之间同电势，所有的可动梳齿之间同电势。本发明解决了现有技术需要2倍频驱动电源，且最大扫描角不稳定的问题。