[发明专利]腔室清洁方法及装置有效
| 申请号： | 201911226305.3 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111118458B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘学庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种腔室清洁方法及装置，该腔室清洁方法包括：S1、当目标晶圆离开工艺腔室，判断所述工艺腔室是否满足预设的清洁条件，若是，则对所述工艺腔室进行待清洁标记并执行步骤S2，若否，则在下一片目标晶圆离开所述工艺腔室后，继续判断所述工艺腔室是否满足预设的清洁条件；S2、判断所述目标晶圆是否为对应目标批次中的最后一片晶圆，若是，则对所述工艺腔室进行清洁；若否，则待所述目标批次中的最后一片晶圆离开所述工艺腔室之后，对所述工艺腔室进行清洁。应用本发明既可实现工艺腔室的自动清洁、减少工作人员对腔室进行维护的工作负担，也能保证同批次晶圆的工艺结果一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
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