[发明专利]阵列基板及其制备方法和显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制备方法和显示装置，该方法包括：提供一衬底基板；在衬底基板上形成导电材料薄膜；在导电材料薄膜背离衬底基板的一侧形成第一光刻胶层；第一光刻胶层包括用于制作栅极的第一覆盖部分、用于制作信号线的第二覆盖部分和位于第二覆盖部分两侧且与第二覆盖部分相连的第三覆盖部分，第三覆盖部分的厚度小于第二覆盖部分的厚度；对导电材料薄膜的未被第一光刻胶层覆盖的部分进行刻蚀，以获得第一刻蚀图案；对第一光刻胶层进行灰化处理，以去除第三覆盖部分，获得第二光刻胶层；对第一刻蚀图案的未被第二光刻胶层覆盖的部分进行刻蚀，以获得栅极和信号线。通过本发明提高了显示产品的显示质量。