[发明专利]一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201911228370.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111044582A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 杨希;田先清;齐天骄;余堃;王新锋 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 胡慧东 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件及其制备方法，涉及半导体气体传感技术领域，具体步骤为：步骤1：通过球磨机将金属氧化物纳米颗粒和乙基纤维素/松油醇溶液按照质量比为1：1均匀混合，制备成金属氧化物气敏浆料；步骤2：将金属氧化物气敏浆料涂覆在平面电极上，静置一段时间后干燥，再在500‑800℃下烧结，获得金属氧化物气敏膜；步骤3：通过磁控溅射的制备方法在金属氧化物气敏膜表面原位制备一层氟碳膜，获得氟碳膜/金属氧化物气敏膜叠层器件。本发明利用氟碳膜的阻水透气特性，改善湿度对气敏器件性能的影响，提升气敏器件在不同湿度环境中的检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟碳膜 金属 氧化物 气敏膜 复合 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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