[发明专利]一种基于分子流传输的气体微流量传感装置

摘要

本发明涉及一种基于分子流传输的气体微流量传感装置：本发明的目的是为了解决现有气体传感装置无法快速、精确、低成本地测量10‑8Pam3s‑1‑10‑3Pam3s‑1量级的气体流量的问题，本发明所提供的基于分子流传输的气体微流量传感装置，包括差压变送器、气体微流量传感元件、第一阀门、旁通阀门、旁通管路，气体微流量传感装置的流导C可通过式确定，测量的气体流量Q可通过式Q＝C×ΔP计算确定，该基于分子流传输的气体微流量传感装置具有在大气压强范围内流导恒定、可控、制作过程简单且流经其的气体流态处于分子流态等优点。本发明还提供了利用上述基于分子流传输的气体微流量传感装置测量气体微流量的方法。