[发明专利]蒸镀控制方法及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201911230215.1 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110938808B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 韩冬 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀控制方法，包括真空腔体和位于真空腔体内部的坩埚；可移动挡板，所述可移动挡板在坩埚内部与坩埚上表面平行设置，用于盛放蒸镀材料；气压监测装置，所述气压监测装置与所述真空腔体连接；气压传动装置，所述气压传动装置分别与所述气压监测装置和所述可移动挡板连接，用于控制所述可移动挡板在坩埚内部向上或向下移动。通过在蒸镀设备中增设可移动挡板、气压监测装置和气压传动装置，由气压监测装置和气压传动装置通过无缝精密联动控制，来改变可移动挡板在坩埚内的移动方向和移动距离，以维持蒸汽压强不变，达到蒸镀速率恒定的目的，以避免温度变化带来对蒸镀材料的影响，确保蒸镀膜层光特性不失效。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
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