[发明专利]一种斜面研磨抛光用工装夹具和系统及斜面研磨抛光方法在审
| 申请号： | 201911235434.9 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110900439A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 韩巍巍;葛文志;王懿伟;矢岛大和;邓宇 | 申请（专利权）人： | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人： | 杨秀芳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市经*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨抛光技术领域，尤其涉及一种斜面研磨抛光用工装夹具及方法，包括夹具本体，其特征是：夹具本体下端设有豁口槽，豁口槽的至少一侧为倾斜向下的贴合面，贴合面顶部固定有顶部挡板。还涉及一种斜面研磨抛光用工装系统，其特征是，包括上述工装夹具、研磨机，研磨机包括下研盘和游星轮，下研盘上套接带动其转动的中心轴；中心轴上套接可自由转动的内齿圈，下研盘上侧设有外齿圈；游星轮设于下研盘上且分别与内齿圈和外齿圈啮合；夹具本体固定在游星轮单元腔内。通过此夹具固定待加工基片，实现基片斜面的研磨、抛光，既解决因压力过大产生的侧面角破损现象，又保证加工时侧面的稳定性，提高斜面研抛产品良率，结构简单、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 斜面 研磨 抛光 用工 夹具 系统 方法 | ||
【主权项】：
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