[发明专利]蒸镀装置及其掩膜板的制备方法在审
| 申请号： | 201911236364.9 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111004998A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 孙锋;魏锋;李金川;涂爱国;谭伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置及其掩膜板的制备方法。蒸镀装置包括掩模板安装平台、掩模板、基板、磁板以及贴合件。掩膜板设置在掩模板安装平台上，基板设置在掩模板和磁板之间，贴合件设置在基板和磁板的两侧，以及掩膜板的表面涂覆热反射材料层。蒸镀装置的掩膜板表面涂覆热反射材料层可以降低蒸镀装置的掩膜板及基板的温度，并降低真空腔体被污染的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 掩膜板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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