[发明专利]一种晶圆平坦化设备有效
| 申请号： | 201911240572.6 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110883626B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王春宏 | 申请（专利权）人： | 南京蔚蓝新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/20 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 徐云军 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆平坦化设备，其结构包括：外壳体、转盘、打磨盘、盲区打磨机构，所述外壳体底部连接转盘，转盘底端面位置设有打磨盘，盲区打磨机构位于转盘之间且处于外壳体下方中心点位置，本发明的有益效果：依靠盲区打磨机构上设有的导振装置带动其底部的压平盘运转，压平盘特殊的菱形盘体能够探入转盘之间的打磨盲区将盲区进行覆盖，同时侧边的弧形线条不会与转盘产生碰撞并最大程度上对盲区的区域进行打磨，并且利用冲压作用力能够对圆晶棒中心点实现高强度的频繁冲压，从而消除圆晶中心点的打磨盲区的粗糙面使其平整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平坦 设备 | ||
【主权项】：
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