[发明专利]压变电容器结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201911240649.X | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN112928170A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 马瑞吉;邢溯 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/94 | 分类号： | H01L29/94;H01L21/329 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压变电容器结构及其制造方法。该压变电容器结构包括基板。第一栅极结构及第二栅极结构设置在所述基板上。所述第一栅极结构及所述第二栅极结构的每一个含有基部与多个线部连接于所述基部。所述第一栅极结构及所述第二栅极结构的所述多个线部是交替配置。蜿蜒扩散区域形成在所述基板中，围绕所述多个线部。第一组接触插塞规划有至少两行或两列，设置在所述第一栅极结构及第二栅极结构的所述多个基部上。第二组接触插塞规划有至少两行或两列，设置在所述蜿蜒扩散区域上。第一导电层设置在所述第一组接触插塞的顶端。第二导电层设置在所述第二组接触插塞的顶端。 | ||
| 搜索关键词： | 变电 容器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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