[发明专利]一种全反射式同轴LIBS激发收集系统及其收集方法在审

专利信息
申请号: 201911243916.9 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN110824679A 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 李强;杨蕊竹;叶小球;陈长安;吴吉良;饶咏初;王雪峰;冯春蓉;严俊 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院材料研究所
主分类号: G02B17/06 分类号: G02B17/06;G01N21/71;G01N21/01
代理公司: 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 代理人: 贾林
地址: 621700 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种全反射式同轴LIBS激发收集系统,涉及光学设计技术领域,包括全反射分束单元、全反射聚焦单元和光纤耦合器;所述全反射分束单元设置于激光入射方向;所述全反射聚焦单元同轴设置于所述全放射分束单元的激光出射方向一侧;所述光纤耦合器位于所述全反射分束单元的旁路,并在光纤耦合器的聚焦焦点处设置光纤;所述全反向聚焦单元收集到的反向信号光通过所述全反射分光单元汇聚到光纤耦合器端面的聚焦焦点处。本发明所公开的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统采用LIBS的激发和收集光路同轴,提高系统集成度;同时,LIBS的激发和收集光路同轴传输,可以保证信号采集点和激发点实时同步,提高信号稳定性。
搜索关键词: 一种 全反射 同轴 libs 激发 收集 系统 及其 方法
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