[发明专利]一种宽光谱抗反射增透结构及其制备工艺及光栅有效
申请号: | 201911249960.0 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN110927833B | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 毛海央;杨宇东;杨帅;陈大鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡物联网创新中心有限公司 |
主分类号: | G02B1/118 | 分类号: | G02B1/118 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 寇海侠 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种宽光谱抗反射增透结构及其制备工艺及光栅。本发明的宽光谱抗反射增透结构中包括:衬底,还包括设置于所述衬底至少一侧表面的若干锥状抗反射结构,锥状抗反射结构的底部横向尺寸为20~150nm,分布密度为3~20根/um |
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搜索关键词: | 一种 光谱 反射 结构 及其 制备 工艺 光栅 | ||
【主权项】:
暂无信息
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