[发明专利]一种基于光电反馈的微镜控制装置有效
| 申请号： | 201911252592.5 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113031249B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光电反馈的微镜控制装置，包括微镜芯片、光电反馈模块、转接结构和控制模块；微镜芯片包括可动镜面和背腔；光电反馈模块包括光源和至少一个光电器件；可动镜面位于背腔顶部，背腔底部与转接结构连接，光源和至少一个光电器件位于背腔的底部且均设置在转接结构上；可动镜面能够将光源发出的光束反射回背腔底部形成光斑，至少一个光电器件用于根据光斑将可动镜面偏转的相位信息实时地转变为对应的光电信息，控制模块用于根据光电信息对微镜芯片和/或光电反馈模块进行控制。本发明适用范围广，性能稳定，灵敏度高，集成度高，适用于各类MEMS微镜装置芯片级和系统级的封装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光电 反馈 控制 装置 | ||
【主权项】：
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