[发明专利]一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911253341.9 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN110927098B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 时彦朋;刘自正;刘笑宇 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法，太赫兹传感器，包括：基体和平行排列的若干线性传感器单元，每个传感器单元包括反射腔和填充于反射腔内的填充物，所述反射腔的端部设置有开口槽，反射腔的侧壁上附着金属反射层，所述所述填充物的折射率为1‑10。该传感器可以增强太赫兹波与物质之间的耦合，提高传感器的品质因数与灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 共振 赫兹 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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