[发明专利]一种高转化率的四氯化硅合成炉

摘要

一种高转化率的四氯化硅合成炉，属于四氯化硅生产设备技术领域。其技术方案是：外夹套换热管环绕合成炉炉体自上而下铺设，外夹套换热管的两端分别与外夹套给水管、外夹套回水管相连接，外夹套给水管和外夹套回水管分别位于合成炉炉体外壁的下部和上部，合成炉内换热管安装在合成炉炉体内的合成炉反应段的上方，合成炉内换热管的两端分别与合成炉内换热给水管、合成炉内换热回水管相连接，合成炉内换热给水管、合成炉内换热回水管安装在合成炉炉体外壁上。本发明结构科学合理，在不改变原有工艺的基础上将合成反应温度提高至550℃，使四氯化硅的转化率从现有15%提升到70%，大大增加了四氯化硅产能，提高了生产效率。