[发明专利]一种金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法在审
| 申请号： | 201911259180.4 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110926399A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 刘立娜;刘兆枫;何煊坤;杨东海;孙雪莲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B21/10;G01N21/73;G01B15/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属细丝超薄金属镀层厚度的测量方法，实现了直径小于20μm的金属细丝，金属镀层厚度小于0.2μm时镀层厚度的测量。首先取一定长度的样品，称量出总质量，采用化学检测的方法，将其完全溶解，利用电感耦合等离子体光谱仪测试出镀层金属的质量，样品总质量与镀层金属质量的差即为金属细丝的质量。然后根据金属细丝的质量，通过计算得到金属细丝的半径。最后利用扫描电子显微镜测试包含镀层的样品的直径，计算得出包含镀层样品的半径，该半径即为金属细丝的半径与镀层厚度的和，再减去金属细丝的半径即得金属镀层厚度。本发明的测试方法提高了超薄镀层厚度测试的准确度，具有很高的可操作性、重复性和再现性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 细丝 超薄 镀层 厚度 测试 方法 | ||
【主权项】：
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